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公告摘要
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| 电子束曝光机 | |
| (略) 在采购意向： | (略) * 月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 脑科学与智能技 (略) |
| 采购项目名称： | 电子束曝光机 |
| 预算金额： | * . *** 万元(人民币) |
| 采购品目： |
A *** 其他工程机械 |
| 采购需求概况： |
电子束光刻机： * 台实现功能及需求：高精度电子束直写光刻， 可加工线宽精度超过 * 纳米；线宽精度 * 纳米下具备1毫米书写视野/视场。具备预对准台，可对 (略) 预测量，实现小尺寸特征快速对准；需具备有 (略) 的计算机辅助设计及扫描电镜操作界面；支持4, 6, 8英尺基片尺寸 |
| 预计采购时间： | *** |
| 备注： |
(略) 脑科学与智能技 (略) |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
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咨询电话：400-810-9688
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